Pura高純氣露點(diǎn)變送器、在線露點(diǎn)傳感器、露點(diǎn)測量儀

更新時間： 2023-11-11
產(chǎn)品型號：
簡單描述
Pura高純氣露點(diǎn)變送器、在線露點(diǎn)儀在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。

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詳細(xì)介紹

Pura高純氣在線露點(diǎn)傳感器、在線露點(diǎn)儀在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對濕氣的持續(xù)追蹤測量都是個難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的*適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價位變送器。

亮點(diǎn)

測量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppb_V)
測量穩(wěn)定，重復(fù)性好
高度集成的采樣裝置
模擬和數(shù)字輸出
安裝簡便
VCR 過程接口
設(shè)計緊湊小巧
顯示/報警單元可選

技術(shù)指標(biāo)

傳感器
傳感器類型	密析爾陶瓷濕度傳感器
量程	-120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C)
精度	±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值)
分辨率	0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C
壓力	zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa
氣體流量	1 ~ 5 Nl/min
電氣

電源

通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出, 對應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供)
zui大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態(tài)

標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

機(jī)械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光

氣路連接端口

Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口
Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口

安裝配置

Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙
底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm
Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中

尺寸

Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm
Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM 型: 450g
Pura Sensor 型: 180g

包裝

Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封
Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝
所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸
Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作

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